一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型及其应用

• 作者: 丁芳 曹天捷
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微开关 悬臂梁 电场力 微分方程
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 460-464
• 页数: 5页
• 分类号: TN454
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2005.04.011

摘要

建立一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型,该模型将微开关悬臂梁的受力变形分为三个阶段,受电场力作用的悬臂梁阶段,受电场力作用的一端固支、另一端铰支的单跨梁阶段以及受电场力和集中力联合作用而保持自由端有指定的位移和零转角阶段.第二阶段中铰支端支反力的大小以及第三阶段中集中力的大小和作用位置均与电场力的驱动电压有关;同时文中将求解微开关悬臂梁挠度的高阶微分方程问题转化为含有未知初始条件的一阶微分方程组问题.在实例中,设计一种求解未知初始条件的迭代方法,并给出部分计算结果,从中可得出一些有益的结论.