激光微加工技术在惯性约束聚变研究中的应用

• 作者: 刘慎业 唐昶环 成金秀 王耀梅 胡昕 陈铭 黄翼翔
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微加工 针孔 狭缝 靶元件
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 668-672
• 页数: 5页
• 分类号: TG665
• 字数: 3144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2005.10.012

摘要

介绍了激光微加工技术的发展及应用概况,重点阐述了利用激光微加工技术制备惯性约束聚变研究中X光成像所用针孔、针孔阵列、狭缝及靶元件的实例,分析了影响加工质量的相关因素,提出了进一步拓展该项应用技术的方向.