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摘要:
研究了不同方块电阻值及不同生产厂家的IT0玻璃在LCD生产制程中受热处理(主要是PI固化和热压过程)后,其IT0膜方块电阻和透过率的变化情况及其原因分析,为液晶显示器设计中IT0玻璃的选取提供了参考和依据.
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成膜与热处理参数对溅射沉积ITO膜电性能的影响
ITO膜
直流磁控反应溅射
热处理
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 LCD制程中热处理对ITO膜电学和光学性质的影响
来源期刊 现代显示 学科 工学
关键词 液晶显示器 氧化铟锡 处理
年,卷(期) 2005,(3) 所属期刊栏目 专题
研究方向 页码范围 51-54
页数 4页 分类号 TN873
字数 2406字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-6268.2005.03.011
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 沈奕 汕头大学物理系 6 59 5.0 6.0
2 邱育明 1 5 1.0 1.0
3 蔡友庆 1 5 1.0 1.0
4 杨柳根 1 5 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
液晶显示器
氧化铟锡
处理
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代显示
月刊
1006-6268
11-3670/TN
大16开
北京市
82-585
1994
chi
出版文献量(篇)
2034
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4
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7771
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