螺杆泵胶液分配高度对胶滴大小一致性的影响

• 作者: 彭全凡 邓圭玲
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 胶液分配 胶液分配高度 胶滴尺寸 胶滴一致性
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 封装测试技术
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 3901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.05.013

摘要

胶液分配高度直接影响接触式胶液分配系统胶液从针头向基板的转移过程.本文实验研究了胶液分配高度对胶滴尺寸及其一致性的影响规律.实验表明,如果其他胶液分配条件固定不变,对应不同的胶液分配高度,胶液分配所形成的胶滴尺寸及其分布不同;给定其他胶液分配条件,存在对应的胶液分配高度极限与之匹配以获得一致性优良的胶滴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓圭玲	中南大学机电工程学院	19	172	7.0	13.0
2	彭全凡	中南大学机电工程学院	1	9	1.0	1.0