精密定位技术研究

• 作者: 孙麟治 李鸣鸣 程维明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 精密定位 分辨率 宏运动 微运动 纳米
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 69-75
• 页数: 7页
• 分类号: TP23
• 字数: 4592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.016

摘要

精密定位技术广泛应用于精密仪器、机械和机床、IC工艺制造、计算机外围设备.其特点是精度和分辨率高,台面尺寸从小到大,品种繁多,大多有自动化操作要求,需要集成许多高性能高品质机械零部件,高分辨力检测元器件,因此制作难度大,投资大.过去精密定位的精度和分辨率已从毫米量级过渡到了微米、从亚微米进入到了纳米量级.本文概述了获取高精度定位精度的支撑关键技术.介绍了基于宏微二级叠加方式的控制系统,研制的宏动工作台用精密滚珠丝杠螺母传动,由交流伺服驱动器驱动,配备反射式光栅检测元件,构成伺服反馈系统, 并对其实际误差曲线进行线性补偿之后,可将定位误差从76 μm降低到3 μm;再在宏动工作台面上安装高精度的微动载物台,由计算机进行宏微切换,从宏运动过渡到微运动方式,可实现大行程纳米量级精密定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙麟治	上海大学精密机械研究所	24	315	10.0	17.0
2	程维明	上海大学精密机械研究所	33	649	13.0	25.0
3	李鸣鸣	上海大学精密机械研究所	6	159	5.0	6.0