复合静电驱动结构致动的内旋转微镜

• 作者: 吴文刚 尹冬青 徐安士 郝一龙 闫桂珍 陈庆华 陈章渊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微镜 复合静电驱动结构 平板驱动器 垂直梳齿驱动器 硅混合微加工
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1699-1704
• 页数: 6页
• 分类号: TN389
• 字数: 767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.09.004

摘要

报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜,其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成.实验表明,该新型驱动结构不仅能使微镜实现大范围连续旋转,而且能使微镜实现吸合效应致自发性90°旋转.微镜的连续旋转范围扩大到约46°,同时引发吸合效应的拐点电压也增大.对于具有1和0.5μm厚扭转弹性梁的微镜,实测拐点电压分别为390～410V和140～160V.当该微镜用作光开关时,测得光插入损耗为～1.98dB.