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摘要:
报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜,其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成.实验表明,该新型驱动结构不仅能使微镜实现大范围连续旋转,而且能使微镜实现吸合效应致自发性90°旋转.微镜的连续旋转范围扩大到约46°,同时引发吸合效应的拐点电压也增大.对于具有1和0.5μm厚扭转弹性梁的微镜,实测拐点电压分别为390~410V和140~160V.当该微镜用作光开关时,测得光插入损耗为~1.98dB.
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文献信息
篇名 复合静电驱动结构致动的内旋转微镜
来源期刊 半导体学报 学科 工学
关键词 微镜 复合静电驱动结构 平板驱动器 垂直梳齿驱动器 硅混合微加工
年,卷(期) 2005,(9) 所属期刊栏目 研究快报
研究方向 页码范围 1699-1704
页数 6页 分类号 TN389
字数 767字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.09.004
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研究主题发展历程
节点文献
微镜
复合静电驱动结构
平板驱动器
垂直梳齿驱动器
硅混合微加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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