准分子激光直刻横向影响区实验研究

• 作者: 史铁林 周月豪 柳海鹏 熊良才
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 直刻 横向影响区 脉冲激光参数
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 132-134
• 页数: 3页
• 分类号: TG665
• 字数: 2646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2005.02.029

摘要

采用248nm KrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区.将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系.在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学机械科学与工程学院	192	2245	25.0	38.0
2	熊良才	华中科技大学机械科学与工程学院	28	380	11.0	18.0
3	柳海鹏	华中科技大学机械科学与工程学院	8	53	5.0	7.0
4	周月豪	华中科技大学机械科学与工程学院	5	43	4.0	5.0