脉冲阴极弧金属等离子体源的调试及其应用

• 作者: 孙韬 汤宝寅 王小峰 王浪平
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入与沉积 碳化钛薄膜 脉冲阴极弧金属等离子体源
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 467-470
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2884字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.06.016

摘要

对脉冲阴极弧金属等离子体源的工作参数进行了测量,研究了离子流与磁导管偏压以及磁场电流与离子流之间的关系,确定了其最佳工作参数.并应用该脉冲阴极弧金属等离子体源和等离子体浸没离子注入与沉积技术制备了TiC薄膜.对改性层的显微硬度、摩擦磨损性能和膜基结合力进行了测试分析.结果表明:合成TiC薄膜后,试样的显微硬度、摩擦磨损性能得到了明显的改善,并且膜层与基体之间的临界载荷为36.03 N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王浪平	哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室	42	276	9.0	14.0
2	王小峰	哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室	35	258	9.0	14.0
3	汤宝寅	哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室	29	231	9.0	13.0
4	孙韬	哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室	5	17	3.0	4.0