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摘要:
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB.
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文献信息
篇名 1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制
来源期刊 半导体学报 学科 工学
关键词 阵列波导光栅 硅基二氧化硅 光波导 光波分复用器/解复用器 集成光学
年,卷(期) 2005,(9) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 1798-1803
页数 6页 分类号 TN256
字数 3214字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.09.023
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相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
总被引数(次)
35317
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
教育部科学技术研究项目
英文译名:Key Project of Chinese Ministry of Education
官方网址:http://www.dost.moe.edu.cn
项目类型:教育部科学技术研究重点项目
学科类型:
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