大工作面F-Theta镜头的光学设计

• 作者: 季轶群 沈为民
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计 F-Theta镜头 初级像差理论 激光打标
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 1539-1542
• 页数: 4页
• 分类号: O439
• 字数: 2507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2005.11.021

摘要

目前国内用于激光标刻机的F-Theta镜头的工作面积一般不超过φ420 mm.国外虽有面积较大的F-Theta镜头,但结构复杂.通过初级像差分析,确定了镜头的初始结构参量,利用光学设计软件优化得到了工作面积为φ680 mm的F-Theta镜头,它由四片两种普通玻璃球面透镜构成,光学筒长不到100 mm,具有结构简单紧凑,聚焦性能接近衍射极限、线性畸变小的优点,满足大工作面打标的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈为民	苏州大学现代光学技术研究所	68	768	18.0	25.0
3	季轶群	苏州大学现代光学技术研究所	16	137	8.0	11.0