定容式流导法微流量校准装置

• 作者: 冯焱 孙海 张涤新 成永军 李得天 李正海 李莉 赵定众 赵澜 郭美如 龚月莉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 流量计 流量校准 真空漏孔
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TB77
• 字数: 5491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.01.006

摘要

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准,校准范围为(5×10-2～5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%～1.7%.