纳米加工技术在机械制造领域的研究现状

• 作者: 丁为甫 刘国平 李满华 董雯侠 郭佑彪
• 来源期刊: 安徽化工
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米加工 AFM针 微电子 刻蚀
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 4534字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-553X.2005.03.002

摘要

纳米技术是当代科技发展的一个新兴领域.简要介绍了与机械制造有关的纳米加工技术,讨论了纳米加工技术的物理实质,介绍了与之相关的关键技术及其元器件等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董雯侠		1	4	1.0	1.0
2	李满华		1	4	1.0	1.0
3	丁为甫		1	4	1.0	1.0
4	刘国平		1	4	1.0	1.0