非致冷红外探测用VOx薄膜XPS价带谱研究

• 作者: 刘爽 宁永功 廖思舜 李华高 杨忠孝 詹思瑜
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 非致冷红外探测 VOx薄膜 XPS 价带谱
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 材料及工艺
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: TN213
• 字数: 1907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.z1.026

摘要

介绍了用XPS技术研究反应溅射制备的VOx薄膜;结果表明该方法制备的VOx薄膜大多是不同价态的混合物,其物相、成分与氧分压密切相关.XPS价带谱研究发现VO2+δ物相的薄膜最利于非致冷红外探测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李华高		10	55	3.0	7.0
2	刘爽	电子科技大学微电子与固体电子学院	65	410	11.0	17.0
3	宁永功	电子科技大学微电子与固体电子学院	14	40	4.0	5.0
4	杨忠孝	电子科技大学微电子与固体电子学院	20	94	6.0	9.0
5	詹思瑜	电子科技大学微电子与固体电子学院	5	22	3.0	4.0
6	廖思舜	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	4	1.0	2.0