三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法

• 作者: 喻文健 洪先龙 王泽毅 陆涛涛
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超大规模集成电路 互连线 电容矩阵 层次式计算 边界元法
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 202-208
• 页数: 7页
• 分类号: TN47
• 字数: 4719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.01.040

摘要

基于直接边界元素法,提出一种边界电容矩阵概念,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法.该算法将三维求解区域划分为若干小块,对每个小块分别计算其边界电容矩阵,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵.数值实验表明,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上.