STEAG ETA-Optik全新推出基片厚度在线测试系统ETA-ISS

• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 在线测试系统 ETA-ISS 注塑工艺 数据密度 接口传输 光盘存储 操作环境 容许误差 第一时间 厚度分布
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 55-55
• 页数: 1页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】随着光盘存储数据密度的增加,空白基片厚度的容许误差容限越来越小。全新设计的ETA-ISS在线基片厚度传 感器,可精密测试基片厚度,检测注塑工艺质量,有利于早期发现工艺恶化,于第一时间调整工艺。 多光谱的测试原理确保高精密的测试,可以消除翘曲干扰,增强系统稳定性,避免工业环境产生的各种影响。 通过一个内置的网络接口传输数据,单一基片的厚度分布,以及连续基片的厚度变化趋势可以被监视或存储在ETA 在线扫描仪中,也可存储在任意Windows操作环境下的PC中。