具有定向及自控制功能的真空镀膜系统

• 作者: 徐仁军 王魁香 贺天民
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 工学
• 关键词: 真空镀膜 自动控制 膜厚
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 学生园地
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TB75
• 字数: 1767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2005.09.016

摘要

对现有真空镀膜系统进行了改进,在原系统中增加了定向装置和5个控制装置,可实现定向镀膜和有效地控制膜厚,进而显著提高膜层质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺天民	吉林大学物理学院	29	357	12.0	17.0
2	王魁香	吉林大学物理学院	10	49	5.0	6.0
3	徐仁军	吉林大学物理学院	1	1	1.0	1.0