引线键合机中复杂超声能量传递特性研究

• 作者: 李军辉 谭建平 陈新
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 引线键合 超声焊接 超声能量 双向垂直超声能量
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 封装测试技术
• 页码范围: 32-35,31
• 页数: 5页
• 分类号: TN605|TB559
• 字数: 2141字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.03.010

摘要

目前,引线键合主要是采用热超声键合技术.超声振动传播和能量传递是超声键合设备中一个非常关键和复杂的问题.本文利用波在弹性体中传播机理,给出超声聚能杆和劈刀的振动传递的特性,利用多普勒振动计PSV-300-F(1.5MHz)测量了振动位移和速度,证实理论结论,并对双向垂直传输超声能焊具的性能进行了研究,阐明了垂直双向加载是一种高效的传能模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭建平		250	1509	17.0	22.0
2	陈新	株洲工学院包装与印刷学院	24	118	6.0	10.0
6	李军辉		29	215	8.0	13.0