sol-gel法制备多孔纳米SiO2薄膜

• 作者: 姚熹 张良莹 李智
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 纳米多孔二氧化硅薄膜 溶胶–凝胶工艺 孔率 厚度控制
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 32-34,37
• 页数: 4页
• 分类号: TN285
• 字数: 3540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.02.011

摘要

以NH3·H2O为催化剂,用正硅酸乙酯(TEOS)溶胶–凝胶工艺制备纳米多孔二氧化硅薄膜.强碱催化使二氧化硅胶粒溶解度增大并增大了体系的离子强度;丙三醇的加入,与水解中间体结合,有效抑制了二氧化硅溶胶胶粒的长大;PVA(聚乙烯醇)对二氧化硅胶粒有强的吸附作用,使胶粒聚联成大的网络结构,增加了成膜性能.通过改变反应物的剂量,调节添加剂的用量,可以制得折射率1.18～1.42,对应孔率60.50%～7.75%并且孔径小于100 nm的纳米多孔二氧化硅薄膜,.单层薄膜厚度在3 μm以内精确可控.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	123	956	16.0	21.0
5	张良莹	同济大学功能材料研究所	81	658	13.0	19.0
6	李智	西安交通大学电子材料研究所	6	57	4.0	6.0