17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

• 作者: 尼启良 张华 张玲 曹轲 薛玲玲 陈波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外 激光等离子体 单色仪 微通道板
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 225-230
• 页数: 6页
• 分类号: TP751
• 字数: 3335字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.02.017

摘要

设计了17.1 nm波段光电成像系统,用于对波长为17.1 nm的极紫外光进行成像.该成像系统分为三大部分:光源、单色仪和探测系统.一个调Q的Nd:YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等离子体,掠入射单色仪由2块球面聚焦镜和1块600 L/mm的球面掠入射光栅组成,经单色仪分光后得到波长为17.1 nm的单色光,探测器是微通道板(MCP)和荧光屏组件共同组成,Kodak400型胶卷被用于记录狭缝的像.结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像,实验测得130 μm的成像系统的空间分辨率,好于相同条件下文献[6]的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玲	长春理工大学理学院	13	26	3.0	3.0
2	陈波		13	103	6.0	10.0
3	尼启良		11	101	6.0	10.0
4	薛玲玲	长春理工大学理学院	3	37	3.0	3.0
5	张华	长春理工大学理学院	6	81	3.0	6.0
6	曹轲	长春理工大学理学院	1	4	1.0	1.0