压电直线精密驱动器研究

• 作者: 刘建芳 杨志刚 程光明 范尊强
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器 定子主动箝位 精密驱动器 双薄壁柔性铰链 大行程
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 65-72
• 页数: 8页
• 分类号: TG1156
• 字数: 3451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.01.012

摘要

提出一种新型的压电直线精密步进驱动器.该驱动器采用仿生运动的原理,以定子主动箝位的方式和双侧薄壁铰链微变形结构,解决了以往压电精密驱动器箝位不牢固、步进频率较低、行程小、分辨率低、速度低、驱动力不稳定等问题.研制的精密直线驱动器能够实现高频率100 Hz,高速度30 mm/min,大行程>10 mm,高分辨率0.05 μm,大驱动力100 N等特点,大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚		234	2872	26.0	40.0
2	程光明		164	2317	26.0	37.0
3	刘建芳		48	387	11.0	17.0
4	范尊强		14	103	5.0	10.0