自动化椭圆偏振光谱仪的研制

• 作者: 唐振方 张曰理 莫党 郭扬铭
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 偏光谱仪 光度法 硬件 软件
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 124-125,128
• 页数: 3页
• 分类号: O433.1
• 字数: 1383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2005.01.031

摘要

介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制.测试结果表明:仪器对椭偏参数tanψ的重复性测量精度为±0.000 4,cos△的重复性测量精度为±0.001,膜厚的相对误差小于0.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐振方	暨南大学理工学院	48	418	11.0	18.0