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微机械连续薄膜变形反射镜
微机械连续薄膜变形反射镜
作者:
闫金良
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
大气光学
薄膜变形镜
微机械
静电力驱动
摘要:
建立了微机械连续薄膜变形反射镜的静电力驱动理论模型,推导出微机械连续薄膜变形反射镜的变形位移和驱动电压的关系表达式,利用该公式、静电力表达式和弹性支撑的回复力分析了变形镜的稳定工作驱动、不稳定工作驱动和最大变形位移,讨论了变形镜的结构参数对变形位移的影响.所得结果对于设计微机械连续薄膜变形反射镜具有重要意义.
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文献信息
篇名
微机械连续薄膜变形反射镜
来源期刊
半导体光电
学科
工学
关键词
大气光学
薄膜变形镜
微机械
静电力驱动
年,卷(期)
2005,(3)
所属期刊栏目
光电器件
研究方向
页码范围
187-189
页数
3页
分类号
TH703.8
字数
1841字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1001-5868.2005.03.006
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
闫金良
烟台师范学院物理系
17
39
4.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
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研究来源
研究分支
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主办单位:
重庆光电技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1001-5868
CN:
50-1092/TN
开本:
大16开
出版地:
重庆市南坪花园路14号44所内
邮发代号:
创刊时间:
1976
语种:
chi
出版文献量(篇)
4307
总下载数(次)
22
总被引数(次)
22967
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英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
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