微机电系统的发展现状和应用

• 作者: 吕俊霞 胡雪梅
• 来源期刊: 机电设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 微加工技术 应用 前景
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 4099字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-8354.2005.06.015

摘要

微机电系统是一项20世纪末兴起、21世纪初开始快速发展起来的高新技术.该文介绍了微机电系统的起源和特点,对微机电系统的加工技术、封装技术、测试技术、应用、国内发展现状及发展前景进行了较全面的论述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕俊霞		170	506	10.0	14.0
2	胡雪梅	西安电子科技大学机电工程学院	3	64	3.0	3.0