MES系统及其在半导体制造中的应用

• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: MES Fab 数据库 应用
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 产品、应用与市场
• 页码范围: 44-45
• 页数: 2页
• 分类号: TP315
• 字数: 1671字
• 语种: 中文

摘要

本文叙述了MES系统的定义,半导体制造前工序中的MES系统的特点,各组成模块的功能,系统的软硬件要求等.并指出了其在半导体制造中的应用.