光学薄膜的误差灵敏度和允差分析

• 作者: 刘卫华 夏志林 张幼陵 葛春桥 薛亦渝
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 误差 灵敏度 允差
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.01.009

摘要

实际生产出的薄膜的光学特性和理论计算得到的光学特性常常存在差别,这些差别的来源有多种,诸如理论模型假设时忽略的一些因素;薄膜久置引起的薄膜结构改变或吸潮、污染;制造过程中的制造误差(光学监控系统引起的薄膜厚度和折射率的误差)等.针对各种误差的来源有相应的改善方法.本文就光学监控系统引起的薄膜厚度和折射率的误差进行分析,同时提出膜系的允差分析,以尽量减小由于监控设备引起的误差,最后介绍了实际生产的计算机优化监控程序.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘卫华		27	248	8.0	15.0
2	夏志林		29	159	7.0	12.0
3	薛亦渝		48	532	13.0	21.0
4	葛春桥		7	90	5.0	7.0
5	张幼陵		10	182	5.0	10.0