40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作

• 作者: 丁国庆
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: PIN波导型光探测器 共面波导 光刻
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 专题聚焦
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN202
• 字数: 3243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2005.10.001

摘要

报道了40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作.通过光刻、化学腐蚀、电子束蒸发、增强型化学汽相淀积、金属剥离、解理等工艺技术,制作了40Gb/s PIN波导型光探测器管芯.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁国庆		11	12	2.0	3.0