基于单片机的余弦误差修正系统

• 作者: 欧阳航空 程维明 章海涛
• 来源期刊: 机电一体化
• 关键词: 激光干涉仪 余弦误差 单片机
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 诊断·维修·改造
• 页码范围: 84-86
• 页数: 3页
• 字数: 1134字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2005.02.023

摘要

阐述了激光干涉测量技术是高精度位移测量的最主要方法之一,具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点.然而,随着测量距离增大,各项误差也随之增大.其中,余弦误差就在大行程激光干涉测量过程中成为一项不可忽略的误差.分析了余弦误差产生的原因,并设计了一套余弦误差修正系统来消除其误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程维明	上海大学精密机械工程系	33	649	13.0	25.0
2	欧阳航空	上海大学精密机械工程系	16	155	6.0	12.0
3	章海涛	上海大学精密机械工程系	2	6	1.0	2.0