等离子辉光TiN复合渗镀层结构与性能的研究

• 作者: 刘燕萍 徐晋勇 徐重 王建忠 隗晓云 高原
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子辉光放电 PVD TiN 耐蚀性 组织结构
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: TG156|TG174.4
• 字数: 3045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2005.06.026

摘要

利用等离子渗金属技术、尖端放电、空心阴极效应和反应气相沉积技术,在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的新型复合渗镀TiN沉积层+TiN析出相+Ti扩散层,并与等离子渗镀TiN/Ti层以及在碳钢基体表面直接用PVD法沉积TiN薄膜的表面形貌、结构、耐蚀性进行了检测和分析.结果表明:等离子渗镀的复合渗镀TiN/Ti层表面为均匀起伏的胞状物,Ti和N原子由表层呈梯度沿基体向内分布,属于冶金扩散层;用等离子渗金属技术等形成的复合渗镀TiN沉积层+TiN析出相+Ti扩散层,其表面形貌是为均匀、致密、细小的组织,平均硬度达到2500HV0.1左右,渗镀层厚度达十几微米,TiN层择优取向为(200)晶面;而PVD法直接沉积TiN薄膜厚度较薄,晶粒以不规则形式分布在基体上.在0.5mol/L H2SO4溶液中腐蚀性能表明,复合渗镀TiN沉积层+TiN析出相+Ti扩散层的耐蚀性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重	太原理工大学表面工程研究所	161	2461	24.0	39.0
2	高原	太原理工大学表面工程研究所	64	555	13.0	19.0
3	王建忠	太原理工大学表面工程研究所	21	155	8.0	10.0
4	隗晓云	太原理工大学表面工程研究所	18	135	7.0	10.0
5	刘燕萍	太原理工大学表面工程研究所	55	298	9.0	12.0
6	徐晋勇	太原理工大学表面工程研究所	36	248	9.0	12.0