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TiNx-SiO2减反射膜的制备
TiNx-SiO2减反射膜的制备
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摘要：
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分步催化制备纳米 SiO2减反射膜的性质与结构研究?
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文献信息
| 篇名 | TiNx-SiO2减反射膜的制备 | ||
| 来源期刊 | 上海大学学报（英文版） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2005,（1） | 所属期刊栏目 | 材料科学与工程 |
| 研究方向 | 页码范围 | 82-85 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TB3 |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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