梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响

• 作者: 孙玲玲 王跃林 董林玺 车录锋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式传感器 惯性传感器 可靠工作范围 阶跃信号
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 525-530
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|TP12
• 字数: 3059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.03.022

摘要

分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响.得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型.结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板的倾斜角变到0.5°时,对于单边电容结构、双边电容结构和有力反馈的双边电容结构,传感器能够承受的临界阶跃加速度分别变为电容极板完全平行时的0.34、0.44、0.52.并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进梳齿不平行的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
2	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
3	董林玺	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	4	45	4.0	4.0