多孔阳极氧化铝薄膜的制备

• 作者: 付前刚 李克智 李正佳 李贺军 魏剑
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 阳极氧化铝 薄膜 孔洞阵列 纳米材料
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺
• 页码范围: 56-59,64
• 页数: 5页
• 分类号: O464.542
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2005.05.015

摘要

采用二次氧化的方法,在短时间内制备了多孔阳极氧化铝薄膜(Anodic Alumina Membrane, 简称AAM),借助扫描电子显微镜(SEM),能谱分析(EDS)和X射线衍射(XRD)等测试手段分析了氧化铝膜的微观形貌和晶体结构,讨论了电解液温度波动和铝材表面缺陷对AAM表面形貌的影响.研究结果表明:制备的多孔氧化铝薄膜是非晶态氧化铝,在其表面孔径为50～70 nm的六边形孔洞分布均匀,且垂直于薄膜表面平行生长.氧化过程中,电解液温度的稳定有利于形成规则的孔洞阵列;通过电化学抛光预处理,可有效去除机械划痕,避免薄膜表面沟壑状形貌的形成,提高了孔洞分布的均匀性.