化学放大光刻胶高分子材料研究进展

• 作者: 朱晓夏 李弘 王春伟
• 来源期刊: 高分子通报
• 学科: 化学
• 关键词: 光刻胶 化学放大 微版印刷术
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 70-80
• 页数: 11页
• 分类号: O6
• 字数: 6749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3726.2005.02.011

摘要

综合论述了化学放大光刻胶类高分子材料,并着重介绍193 nm光刻胶材料研究的最近进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李弘	南开大学高分子化学研究所吸附分离功能高分子材料国家重点实验室	20	125	8.0	10.0
2	朱晓夏	南开大学高分子化学研究所吸附分离功能高分子材料国家重点实验室	6	44	4.0	6.0
3	王春伟	南开大学高分子化学研究所吸附分离功能高分子材料国家重点实验室	1	21	1.0	1.0