利用钛过渡层及掺钼改善声表面波器件用铝薄膜的微结构与性能

• 作者: 李冬梅 潘峰 王旭波
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: Al-Mo薄膜 Ti过渡层 附着力 声表面波
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜材料与表面技术
• 页码范围: 742-746
• 页数: 5页
• 分类号: TN65
• 字数: 3432字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2005.05.033

摘要

纯铝薄膜以其低声阻抗特性被广泛应用于声表面波(SAW)器件的制作.随着通讯频率的不断提高, 对SAW器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力提出了越来越高的要求.采用少量易于反应离子刻蚀的Mo元素掺杂来改善Al合金的抗电迁移和功率承受力, 并以数纳米的Ti过渡层增强Al-Mo合金薄膜的取向性.结果表明: Ti/Al-Mo薄膜表现出强(111)织构, 与纯Al薄膜相比, 晶粒明显细化且致密均匀, 临界载荷大大增加, 与基体的附着力显著增强, 并具有良好的刻蚀性能.