RF MEMS国内外的发展趋势及我国的发展对策

• 作者: 朱健
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 微机械加工 MEMS封装 可重构网格
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术的现状与展望
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 4013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.002

摘要

介绍了近期RF MEMS国内外的研究概况及其应用领域,分析了RF MEMS市场前景,展望了未来发展趋势,提出了我国发展对策.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健	中国电子科技集团公司第五十五研究所	14	189	8.0	13.0