电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件

• 作者: 尚勇 王志军 董丽芳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 化学气相沉积 氢原子发射谱线 最佳成膜条件
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 550-552,530
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.036

摘要

采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟.研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法.本工作对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志军	河北大学物理科学与技术学院	78	570	15.0	19.0
2	董丽芳	河北大学物理科学与技术学院	183	836	17.0	22.0
3	尚勇	河北大学物理科学与技术学院	16	40	4.0	6.0