单晶炉机械传动系统综述

• 作者: 高利强
• 来源期刊: 机械传动
• 关键词: 单晶炉 机械传动 升降与旋转
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 开发应用
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: TH13
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2539.2005.06.027

摘要

机械传动系统是单晶炉的重要组成部分,它主要包括坩埚升降与旋转系统、籽晶升降与旋转系统等等.本文详细论述了这两种传动系统的典型方案及其传动机理,最后阐明各单晶体生长方法所要求的传动系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高利强		10	31	4.0	5.0