含氦Ti膜的透射电镜研究

• 作者: 于洪波 刘实 戎利建 王隆保 胡魁义
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 磁控溅射 氦泡 Ti膜
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 530-534
• 页数: 5页
• 分类号: O613.11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2005.06.013

摘要

在氦气和氩气混合气氛中用磁控溅射法制备含氦Ti膜.应用透射电镜观察不同氦气和氩气流量比对Ti膜微观结构及氦泡形貌和分布的影响,并研究退火温度对氦泡聚集和长大行为的影响.研究观测到,Ti膜中氦泡的尺寸随氦流量的增加而增大,氦泡的密度随氦流量改变出现一最大值;温度低于0.5 Tm时,He泡以泡迁移和合并机制(MC)长大;温度高于0.5 Tm时,He从小泡离解,被大泡吸收,以OR机制长大,氦泡尺寸明显增加.