Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体

• 作者: 刘天伟 张治国 徐军 董闯 邓新禄 陈小锰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ECR非平衡磁控溅射 朗谬尔探针 等离子体 诊断
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 110-114
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 4397字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.02.008

摘要

利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系.实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10) eV之间.随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值.电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董闯	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	198	2023	23.0	34.0
2	徐军	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	51	346	11.0	14.0
3	刘天伟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	69	4.0	7.0
4	邓新禄	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	10	210	8.0	10.0
5	张治国	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	6	39	4.0	6.0
6	陈小锰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	29	2.0	2.0