新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机

• 作者: 朱刚毅
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 卧式 离子辅助电子柬蒸发 直枪 光学膜
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 45-46,56
• 页数: 3页
• 分类号: TB79
• 字数: 2212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2005.06.011

摘要

作为光学镀膜设备中的新机型--卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜设备,是一种适用于圆柱型、圆锥型等带对称回转轴的工件外表面镀光学膜的真空镀膜设备,它解决了目前箱式光学镀膜机无法镀制这类工件的难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱刚毅		1	0	0.0	0.0