光敏层电阻率非均匀分布对PSD定位影响的研究

• 作者: 宋建中 林明秀 王英霞 陶忠祥
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻率 PSD 数值方法 Lucovsky方程
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光学元器件
• 页码范围: 84-86,89
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.91
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2005.01.040

摘要

采用数值方法对光敏层电阻率的非均匀分布及对位置敏感探测器(PSD)的影响进行了研究,结果显示,在现有的制作工艺保障最大电阻率变化不超过1%时,电阻率的非均匀分布对四边形PSD的非线性影响很小,相比较之下,其对一维PSD的影响要大的多.因此,光敏层电阻率的非均匀分布是造成一维PSD非线性的一个主要原因,而对于四边形二维PSD则不是主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋建中	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	107	1386	18.0	33.0
2	林明秀	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	94	7.0	9.0
3	陶忠祥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	60	5.0	7.0
7	王英霞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	10	2.0	3.0