通过原子力显微镜(AFM)对HD DVD压模进行分析

• 作者: David L.Burkhead Dick Verhaar Donald A.Chernoff Ton van de Vorst
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 AFM HD DVD 光存储产品 盘片 第三代 母盘 玻璃基片 光刻胶 截面轮廓
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TQ597

摘要

【正】众所周知,HD DVD和Blu-ray Disc同属于第三代 光存储产品。和第一、二代光存储产品——CD光盘 和DVD光盘相比,HD DVD和Blu-ray Disc光盘中的特 征结构更小,对误差的公差容量也更小。例如,HD DVD光盘的结构中,平均道间距一般为400±10nm(复 制盘上),而对单独一张盘片而言,道间距的公差可