高聚物生物芯片材料激光加工性能分析

• 作者: 祁恒 陈涛
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 生物芯片 高聚物 准分子激光 微加工
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 138-141
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 3821字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2005.02.030

摘要

用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以获得比较理想的高聚物基生物芯片.根据对制作生物芯片材料的性能要求,比较了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)对不同波长激光的光波透过率,测量了高聚物材料经准分子激光加工后的微结构,并得出准分子激光对不同材料的刻蚀速率与入射激光能量密度之间的关系.结果表明,PMMA和PC都能够完全吸收KrF准分子激光能量,可以用准分子激光在表面进行微加工制作生物芯片;用PMMA制作出的生物芯片,在使用时对检测结果的质量影响比PC小;对于相同的入射激光能量密度,准分子激光对PMMA的刻蚀率比PC高;由于与准分子激光之间的反应机理不同,PMMA更容易被加工,但是加工后的微结构质量较PC差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
2	祁恒	北京工业大学激光工程研究院	7	60	4.0	7.0