基于TMS320C6713的电子束曝光机图形发生器的硬件设计

• 作者: 方光荣 郭颖
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 图形发生器 数字信号处理
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.03.016

摘要

提出了一套功能较为完备的新型扫描电子束曝光机图形发生器的硬件设计方案.方案采用TMS320C6713芯片作为核心单元,并由USB2.0接口电路、存储器扩展电路、标记检测控制电路、曝光控制电路和束闸控制电路构成.方案具有数据处理能力强、速度快、接口方便等优势,克服了传统图形发生器单纯依靠软件完成、速度慢、精度低、工作不稳定的缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方光荣	中国科学院电工研究所	32	154	7.0	10.0
2	郭颖	中国科学院电工研究所	24	275	9.0	16.0