自组装--自底而上的纳米制造方法

• 作者: 曾安培 赵志龙 阿兰·奥瑞尔登
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米制造 自组装 纳米光刻技术
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 209-213
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 4488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.05.004

摘要

介绍了"自底而上"的自组装纳米制造方法中的一些关键技术.利用自组装技术将成形的或未成形的材料淀积在大面积基底上,制造出纳米结构和分子局域自组装装置,并通过由自组装技术发展而来的原子操作和蘸水笔纳米加工技术,以构建纳米尺度的图形.描述了与这些技术相关的原理和工艺过程以及其当前的应用和潜在的应用前景.