水环式真空泵在直拉单晶炉上的应用

• 作者: 施政
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉单晶炉 真空系统 水环式真空泵
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进加工设备)
• 页码范围: 18-19,31
• 页数: 3页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.03.006

摘要

分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的整体性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施政		6	31	2.0	5.0