一种基于MEMS技术的可变光衰减器

• 作者: 丁桂甫 戴旭涵 蔡炳初 谢晓强 赵小林
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤网络 可变光衰减器 MEMS 微机械
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 183-186
• 页数: 4页
• 分类号: TN481
• 字数: 2684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.03.005

摘要

介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量.分析了偏移量与衰减量的关系,通过MEMS微细加工技术实现了器件的制作和封装,介绍了加工及装配流程.并进行了性能测试,结果表明,新型可变光衰减器的插入损耗小于1 dB,动态范围约35 dB,工作电压小于5 V,偏振相关损耗小于0.1 dB,有望为光纤网络提供一种低成本、高性能的光通信器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢晓强		1	11	1.0	1.0
2	戴旭涵		2	12	1.0	2.0
3	赵小林		5	22	3.0	4.0
4	丁桂甫		2	11	1.0	2.0
5	蔡炳初		5	24	3.0	4.0