SiGe材料及其在双极型器件中的应用

• 作者: 吴德馨 陈震
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: SiGe 异质结双极晶体管 微波器件
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 电路设计与制造
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 4037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2005.01.010

摘要

SiGe材料具有很多独特的性质,高性能的应变SiGe外延层能够将能带工程的概念引入到传统的Si基材料中去.外延SiGe合金使得在Si基材料上制作性能优异的双极晶体管成为可能.本文回顾了SiGe材料和SiGe异质结双极晶体管的最新研究进展,包括它们的结构、性能、制作工艺、优点以及未来发展方向等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴德馨	中国科学院微电子中心	58	345	11.0	14.0
2	陈震	中国科学院微电子中心	10	69	4.0	8.0