聚合物微型谐振环波分复用器

• 作者: 孙德贵 崔占臣 张大明 李晓强 王鹏飞 邓文渊 鄂书林 马春生
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 密集波分复用(DWDM) 微型谐振环 波分复用器 聚合物
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 538-541
• 页数: 4页
• 分类号: TN929.11
• 字数: 1520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2005.04.025

摘要

研制出用于现代光通信密集波分复用(DWDM)系统的微型谐振环波分复用器(MRRWM).微环与信道波导采用垂直耦合的方式,利用耦合模理论对器件参数进行了优化设计,设计出模板,并研制出符合器件光学性能要求的聚合物材料.利用反应离子刻蚀技术完成了硅基板上单级和八级的器件制作,波分复用器的中心波长为1.55 μm,输出波长间隔△λ=1.6 nm,中心微环半径R=131.95 μm,相邻微环半径差△R=500.0 nm,器件测试结果表明实现了微环谐振输出.