高质量HgCdTe薄膜的液相外延生长

• 作者: 姬荣斌 杨宇 陈建才 马庆华
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 液相外延 HgCdTe 红外焦平面
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TN213
• 字数: 2117字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.01.010

摘要

用固态HgTe作为Hg补偿源,采用开管、水平滑块推舟的富Te液相外延(LPE)方法在碲锌镉(Cd1-yZnyTe, y＝0.04)衬底上外延生长大面积Hg1-xCdxTe(x＝0.2)薄膜材料,通过适当的生长条件得到组分均匀、结构完整、表面形貌良好的长波碲镉汞薄膜.测试结果表明本方法生长的HgCdTe薄膜能满足目前研制红外焦平面器件的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇		101	377	9.0	12.0
2	姬荣斌		50	200	7.0	10.0
3	马庆华		12	47	4.0	6.0
5	陈建才		6	31	4.0	5.0