CH3 CSNH2/NH4 OH钝化GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器

• 作者: 刘延祥 唐绍裘 夏冠群 程宗权 郑燕兰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: CH3CSNH2/NH4OH GaInAsSb 钝化
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 132-135
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 1050字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.035

摘要

引入一种新的低毒化合物CH3CSNH2/NH 4OH对GaInAsSb化合物探测器的表面进行了钝化处理,可使其暗电流降低一个数量级,动态电阻增大25倍多,且钝化83天后保持良好的钝化效果,取得了与(NH4)2S溶液一样理想的钝化效果.并采用AES和XPS对钝化前后的GaInAsSb材料进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐绍裘	湖南大学材料科学与工程学院	64	1119	19.0	30.0
2	刘延祥	湖南大学材料科学与工程学院	7	23	3.0	4.0
6	夏冠群	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	61	307	9.0	16.0
7	程宗权	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	4	3	1.0	1.0
8	郑燕兰	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	11	50	5.0	6.0